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 中微公司.快链    [我的自选]
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股票名称:中微公司.688012 时间:2024/6/21
中微公司申请基座、等离子体刻蚀装置及基座的制备方法专利，降低esc制备工艺的难度，使其适用于高温制备工艺
  
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