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 盛美上海.快链    [我的自选]
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股票名称:盛美上海.688082 时间:2024/6/4
盛美上海申请晶圆清洗装置和晶圆清洗方法专利，减小晶圆和晶圆承载装置的接触点应力的同时，缩短排液耗时，提高晶圆清洗效率
  
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